映日科技获得一种高密度IZTO靶材的制备办法专利大起伏进步靶材的密度和均匀性
金融界 2024 年 9 月 1 日音讯，天眼查知识产权信息数据显现，芜湖映日科技股份有限公司获得一项名为“一种高密度 IZTO 靶材的制备办法“，授权公告号 CN116768604B，请求日期为 2023 年 6 月。
专利摘要显现，本发明触及靶材技术领域，详细触及一种高密度 IZTO 靶材的制备办法，所述制备办法有如下过程：S1 原材料挑选、S2 氧化锌球磨、S3 混合球磨、S4 喷雾造粒、S5 压力成型、S6 靶材烧结。本发明选用特定 BET 值的氧化铟、氧化锡和氧化锌作为原材料，经过拌和球磨使粉末混合均匀，经离心式喷雾造粒机枯燥形成 IZTO 粉末，再运用等静压成型机将 IZTO 粉末压缩成素胚，然后在常压氧气气氛下进行烧结处理，操控升温速率和保温时刻以完成高密度靶材的制备。与传统工艺比较，该计划可大起伏进步靶材的密度和均匀性，具有十分显着的使用价值。
